董教授的话中打着埋伏,是要当着众人的面跟胡明镇还价。作为工程院的学术带头人,他是有资格引进一鸣集团公司制造的高精度检测仪器系统。
但这种耗资七八千万的大型科研项目,还是要通过会议集体来决策。而今天的现场的院士都有资格参加会议讨论作出决策,董教授趁机提出这条建议,让大家有点心理准备。
“我支持老董的意见。不过胡教授,你们一鸣集团公司也应该给我们一个特优惠的报价,我们工程院的课题资金费实在太紧张了。”
“老韩说得对。这项目一旦被批准,我们的课题费都要被削减。”
“老胡啊,你行行好。为了我们华国的科研事业,你这边一定要压缩成本再压缩!”
刘教授、单教授等人都笑眯眯拿胡明镇开玩笑,半真半假的在压价。
胡明镇经验丰富,怎么会听不出来?“各位专家,无论我们怎么压缩陈本,光刻室里的这套高精度检测仪器系统,造价不会低于七千万元呐。”他微皱着眉头解释。
“各位院士,我老师说得没错。我们集团公司为了研发这台光刻机,总共投入十三亿多元。激光光路系统花了三亿多,主体系统也只有两亿多。其他的费用就是花在这些精密仪器研发的方面。”
这时,梁宋松也出来帮忙,给老师胡明镇解围。
听他说完这番话,光刻室里的各位专家教授们顿时都大惊失色。
“一个课题项目烧了十三亿多,我的乖乖!”
“由此看来,光刻机项目也只能让企业牵头来搞。我们这些科研教学单位肯定搞不起来。”
“是啊,一鸣集团公司真的愿意在科技创新方面花大钱,不像有的企业就是一句空话。”
刘教授等人都在咂舌惊叹,也不好意思再往下还价了。胡明镇虽然没说出这种高精度检测仪器的成本分项,他们也能猜测到其中的配件肯定非常贵。
于是乎,董教授跟大家一合计,决定先在京师科学院搞一个实验室中心,把光刻室的这套高精度测量系统引进过去。
做完决策,他又笑眯眯的跟胡明镇商量,“老胡,我们准备跟贵集团公司合作,在南安创办一个电子大学。你们单位也要投资,最好就把这套精密测验仪器系统配置到大学实验室里。”
“这个办法好,我举双手赞成。”刘教授听出董教授话中的含义,在一旁配合着笑道。
他们这个打算很精明,通过这番操作,华夏科学院立即就能获得两个高档的实验室,实验室的装备水平在全球都算是一流的。
胡明镇听到这番话,心里在犹豫。
“这么重大的投资,我也无权决策啊。不过。各位专家,我们许董一向喜欢在新技术方面投入巨资,咱们合作办学的这个电子大学。我想他应该会批准的。”他只能含糊其辞的说着客套话,并没有拒绝董教授等人的提议。
“只要许董愿意投资,我们这联合办学的大学就由许董来命名。”
“对,我建议让许董亲自任校长!”
董教授、刘教授等人笑呵呵的跟着补刀,想把这个决策给坐实了。
就在这时,负责光刻机整机联动调试的郝宁教授,朝胡明镇招了招手,“胡总,我们刚才已经模拟运行过一次,这台光刻机的各项参数、性能指标等都正常。咱们是不是该进行下一步的芯片流片工程测试?”
按照光刻机本来的调试流程,一定要通过三次模拟实验以后才能开始进行流片测试。但为了赶时间,郝宁教授才会这么询问胡明镇。
胡明镇闻言,稍稍犹豫了片刻。他性格谨慎,从来都不喜欢冒险。但是为了政治任务,只好微微点头,“老郝,我同意执行流片测试程序。”
“好!”
郝宁教授朝负责流片的技术员们一挥手,“立即执行流片工程测试程序!”
随着他这一声令下,光刻室里的技术员们顿时都忙碌起来,做流片工序的准备工作。
芯片流片非常讲究,仅仅光刻室里就由许多道制程工艺组成。
比如说,蚀刻掩膜片、给掩膜片涂抹光刻胶、清洁激光头、激光头校准对焦……等等等等。
这些工序的精度要求都非常高,而且要在无尘状态操作,不得马虎。
不但如此,光刻室的灯光照明、声波、震动波、电磁波、温度、湿度等技术参数都有严格的规定,否则都会影响光刻硅晶圆片的精度,影响流片的成品率。
“老胡,这台设备我们已经测试过很多次,也通过好几次实战,应该没问题。”郝宁教授见胡明镇的目光一直都盯着光刻机工作站的电脑显示屏,所以才特意走来宽慰几句。
胡明镇闻言收回目光,朝郝宁教授颔首点头,“我知道这次流片测试应该问题不大。但总是感到有些不踏实。”
“是不是就像准备去参加高考一样?”站在他身旁的刘教授说起玩笑话,拿胡明镇开心。
玩笑话虽然是玩笑话,但跟胡明镇此时的心态有点类似。作为搞技术研发的一名专家,每当自己的科研项目接受论证审查时,应该都是这种心态的。
一个半小时以后,梁宋松对这台光刻机再三巡查了一遍,然后朝胡明镇伸出两个大拇指,“报告胡总,全国产第一台KrF光刻机已经做好准备,下面要开始执行光刻制程工序,请指示。”
“开始!”
胡明镇猛然一挥手。
“嘟嘟嘟……”随着这一声令下,这台光刻机主体系统上方的报警灯开始闪烁,隔绝玻璃门开始缓缓关闭。
“好啊,终于开始了。”
“这是一个伟大的时刻!”
“我们这些人都在见证历史啊。”
看到这一幕,刘教授、董教授、单教授等人都非常激动,嘴里忍不住唠唠叨叨的说着话。
因为他们这些人跟胡明镇一样,也是第一次见证这台全国产第三代光刻机的正式执行光刻制程工艺。
这是一个值得纪念的时刻!
刘教授特意看了看自己的手表,时间是:“1997年,2月16日凌晨0点19分30秒!”